Silikon fotonikapassiw komponentler
Kremniý fotonikasynda birnäçe esasy passiw komponentler bar. Olaryň biri 1A suratda görkezilişi ýaly, ýüz şöhle saçýan tor birleşdirijidir. Ol tolkun geçirijisindäki güýçli tordan ybarat bolup, onuň döwri tolkun geçirijisindäki ýagtylyk tolkunynyň tolkun uzynlygyna takmynan deňdir. Bu bolsa, ýagtylygyň ýüze perpendikulýar görnüşde çykmagyna ýa-da kabul edilmegine mümkinçilik berýär, bu bolsa ony wafer derejesindäki ölçegler we/ýa-da süýüm bilen birikmek üçin amatly edýär. Tor birleşdirijileri kremniý fotonikasyna mahsusdyr, sebäbi olar ýokary dik görkezijili kontrast talap edýär. Mysal üçin, adaty InP tolkun geçirijisinde tor birleşdirijisini ýasamaga synanyşsaňyz, ýagtylyk dik görnüşde çykarylmagyň ýerine substrata gönüden-göni syzýar, sebäbi torly tolkun geçirijisiniň ortaça synma görkezijisi substrata garanyňda pes. InP-de işlemegi üçin, 1B suratda görkezilişi ýaly, ony asmak üçin toruň aşagyndan material gazylmaly.
1-nji surat: kremniýde (A) we InP-de (B) ýüz şöhle saçýan bir ölçegli tor birleşdirijileri. (A)-da çal we açyk gök reňkler degişlilikde kremniý we kremniýi aňladýar. (B)-de gyzyl we mämişi reňkler degişlilikde InGaAsP we InP-ni aňladýar. (C) we (D) suratlar InP asylýan konsol tor birleşdirijisiniň skanerleýji elektron mikroskopynyň (SEM) suratlarydyr.
Başga bir esasy komponent, olaryň arasyndaky nokat ölçegli öwrüji (SSC)-dir.optiki tolkun geçirijisiwe süýüm, kremniý tolkun geçirijisindäki takmynan 0,5 × 1 μm2 režimi süýümde takmynan 10 × 10 μm2 režime öwürýär. Adaty çemeleşme, ters konus diýlip atlandyrylýan gurluşy ulanmakdyr, onda tolkun geçirijisi ýuwaş-ýuwaşdan kiçi uja çenli daralýar, bu bolsa onuň ep-esli giňelmegine getirýär.optikire mode ýamasy. Bu re modemi 2-nji suratda görkezilişi ýaly asma aýna tolkun geçirijisi arkaly tutup bolýar. Şeýle SSC bilen 1,5dB-den az baglanyşyk ýitgisi aňsatlyk bilen gazanylýar.
2-nji surat: Kremniý simli tolkun geçirijileri üçin nusga ölçegini öwüriji. Kremniý materialy asma aýna tolkun geçirijisiniň içinde ters konus şekilli gurluş emele getirýär. Kremniý substraty asma aýna tolkun geçirijisiniň aşagynda oýulyp goýuldy.
Esasy passiw bölek polýarizasiýa şöhle bölüjisidir. Polýarizasiýa bölüjileriniň käbir mysallary 3-nji suratda görkezilen. Birinjisi, her bir goluň dürli iki öwüşginliligi bolan Mach-Zender interferometri (MZI). Ikinjisi bolsa ýönekeý ugurly birleşdirijidir. Adaty kremniý simli tolkun geçirijisiniň şekil iki öwüşginliligi örän ýokary, şonuň üçin transvers magnit (TM) polýarlaşdyrylan yşyk doly birikdirilip bilner, transvers elektrik (TE) polýarlaşdyrylan yşyk bolsa diýen ýaly aýrylyp bilner. Üçünjisi, TE polýarlaşdyrylan yşyk bir ugurda, TM polýarlaşdyrylan yşyk bolsa beýleki ugurda birikdirilip bilinýän ýaly, süýümiň burç astynda ýerleşdirilen torly birleşdirijidir. Dördünjisi iki ölçegli torly birleşdirijidir. Elektrik meýdanlary tolkun geçirijisiniň ýaýrama ugruna perpendikulýar bolan süýüm re modeimleri degişli tolkun geçirijisine birikdirilýär. Süýüm iki tolkun geçirijisine ýa-da ýüze perpendikulýar bolup, dört tolkun geçirijisine birikdirilip bilner. Iki ölçegli torly birleşdirijileriň goşmaça artykmaçlygy, olaryň polýarizasiýa aýlawlary hökmünde hereket etmegidir, bu bolsa çipdäki ähli ýagtylygyň birmeňzeş polýarizasiýa eýedigini, ýöne süýümde iki ortogonal polýarizasiýa ulanylýandygyny aňladýar.
3-nji surat: Köp polýarizasiýa bölüjileri.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 16-njy iýuly