Silikon fotonikapassiw komponentler
Silikon fotonikasynda birnäçe esasy passiw komponentler bar. Bularyň biri, 1A suratda görkezilişi ýaly, ýerüsti çykaryjy örtük birleşdirijisidir. Tolkun goragçysyndaky güýçli gözenekden ybarat, döwri tolkun goragçysyndaky ýagtylyk tolkunynyň tolkun uzynlygyna takmynan deňdir. Bu ýagtylygyň ýüzüne perpendikulýar çykmagyna ýa-da kabul edilmegine mümkinçilik döredýär, bu bolsa wafli derejeli ölçegler we / ýa-da süýüme birikdirilmegi üçin amatly bolýar. Panel birikdirijileri kremniniň fotonikasyna birneme mahsus, sebäbi ýokary dik görkeziji kontrast talap edýär. Mysal üçin, adaty InP tolkun goragçysynda örtük birikdirijisini ýasamaga synanyşsaňyz, yşyk dikligine çykmagyň ýerine göni substrata syzýar, sebäbi gözenegiň tolkun goragçysy substratdan ortaça pes refraktiw görkeziji bolýar. InP-de işlemegi üçin, 1B suratda görkezilişi ýaly, ony togtatmak üçin gözenegiň aşagynda material gazylmaly.
1-nji surat: kremniý (A) we InP (B) üstündäki bir ölçegli örtük birikdirijileri. (A) -da çal we açyk gök degişlilikde kremnini we kremnini aňladýar. (B) -de gyzyl we mämişi degişlilikde InGaAsP we InP-ni aňladýar. Sanlar (C) we (D), InP togtadylan kantilwer örtüji birikdirijiniň elektron mikroskopyny (SEM) skanerleýär.
Anotherene bir möhüm komponent, arasyndaky aralyk ölçeg öwrüjisi (SSC)optiki tolkun goragçysywe kremniniň tolkun goragçysyndaky takmynan 0,5 × 1 μm2 re modeimi süýümde takmynan 10 × 10 μm2 re toime öwürýän süýüm. Adaty bir çemeleşme, tolkun goragçysy kem-kemden kiçijik ujuna daralýar, bu bolsa ep-esli giňelmegine sebäp bolýan ters çyzgy diýilýän gurluşy ulanmakdyr.optikire patchim. Bu re 2imi, 2-nji suratda görkezilişi ýaly, togtadylan aýna tolkun goragçysy alyp biler. Şeýle SSC bilen, 1.5dB-den az birikdirme ýitgisi aňsatlyk bilen gazanylýar.
2-nji surat: Silikon sim tolkun goragçylary üçin nagyş ululygy öwrüji. Silikon materialy, asylan aýna tolkun goragçysynyň içinde ters konus gurluşyny emele getirýär. Silikon substraty asylan aýna tolkun goragçysynyň aşagynda ýerleşdirildi.
Esasy passiw komponent polýarizasiýa şöhleleriniň bölüjisidir. Polýarizasiýa bölüjileriniň käbir mysallary 3-nji suratda görkezilýär. Birinjisi Mach-Zender interferometri (MZI), bu ýerde her goluň dürli birefringensiýasy bar. Ikinjisi, ýönekeý ugrukdyryjy. Adaty kremniý sim tolkun goragçysynyň şekilli birefringensiýasy gaty ýokary, şonuň üçin transvers magnit (TM) polýarizirlenen ýagtylyk doly birleşdirilip bilner, transvers elektrik (TE) polýarizirlenen yşyk bolsa gözegçiliksiz bolup biler. Üçünjisi, süýüm burça ýerleşdirilip, TE polýarizirlenen ýagtylyk bir tarapa birikdiriler we TM polýarizirlenen ýagtylyk beýleki tarapa birikdiriler. Dördünjisi, iki ölçegli örtük birleşdirijisi. Elektrik meýdanlary tolkun goragynyň ýaýramagynyň ugruna perpendikulýar bolan süýüm reesimleri degişli tolkun goragçysy bilen birleşdirilýär. Süýüm egilip, iki tolkun goragçysy ýa-da ýüzüne perpendikulýar we dört tolkun goragçysy bilen birleşdirilip bilner. Iki ölçegli örtük birikdirijileriniň goşmaça artykmaçlygy, polýarizasiýa rotatorlary hökmünde hereket etmegidir, ýagny çipdäki ähli ýagtylygyň birmeňzeş polýarizasiýasy bar, ýöne süýümde iki sany ortogonal polýarizasiýa ulanylýar.
3-nji surat: Birnäçe polýarizasiýa bölüjileri.
Iş wagty: Iýul-16-2024