Fotonik integral zynjyr (PIC) material ulgamy
Silikon fotonikasy, dürli funksiýalara ýetmek üçin ýagtylygy ugrukdyrmak üçin kremniý materiallaryna esaslanýan planar gurluşlary ulanýan dersdir. Bu ýerde süýümli optiki aragatnaşyk üçin geçirijileri we kabul edijileri döretmekde kremniniň fotonikasynyň ulanylyşyna ünsi jemleýäris. Berlen zolakda, berlen aýak yzynda we belli bir çykdajyda has köp geçiriş goşmagyň zerurlygy sebäpli kremniniň fotonikasy has ykdysady taýdan ösýär. Optiki bölek üçin,fotonik integrasiýa tehnologiýasyulanylmalydyr we häzirki wagtda iň sazlaşykly geçirijiler aýratyn LiNbO3 / planar ýagty tolkun zynjyry (PLC) modulýatorlary we InP / PLC kabul edijileri arkaly gurulýar.
1-nji surat: Köplenç ulanylýan fotoniki integral zynjyr (PIC) material ulgamlaryny görkezýär.
1-nji suratda iň meşhur PIC material ulgamlary görkezilýär. Çepden saga kremniý esasly kremniý PIC (PLC hem diýilýär), kremniý esasly izolýator PIC (kremniniň fotonikasy), litiý niobat (LiNbO3) we InP we GaAs ýaly III-V topar PIC bar. Bu kagyz kremniý esasly fotoniklere ünsi jemleýär. Inkremniniň fotonikasy, yşyk signaly esasan 1,12 elektron wolt (tolkun uzynlygy 1,1 mikron) bilen gytaklaýyn zolakly boşlugy bolan kremniýde syýahat edýär. Silikon peçlerde arassa kristal görnüşinde ösdürilip ýetişdirilýär, soňra bolsa häzirki wagtda diametri 300 mm bolan wafli kesilýär. Wafli üstü kremniniň gatlagyny emele getirýär. Wafli biri belli bir çuňluga wodorod atomlary bilen bombalanýar. Soňra iki wafli wakuuma birleşdirilýär we oksid gatlaklary biri-birine baglanýar. Gurnama wodorod ion implantasiýa çyzygy boýunça döwülýär. Soňra çatrykdaky kremniý gatlagy ýalpyldawuk bolýar, netijede kremniniň Si gatlagynyň üstünde kremniniň “tutawajy” wafli üstünde kristal Si-iň inçe gatlagyny galdyrýar. Tolkun gollanmalary bu inçe kristal gatlakdan emele gelýär. Silikon esasly izolýator (SOI) wafli pes ýitgili kremniý fotonik tolkun goragçylaryny mümkin etse-de, aslynda az akýan tok sebäpli pes güýçli CMOS zynjyrlarynda ulanylýar.
2-nji suratda görkezilişi ýaly, kremniý esasly optiki tolkun goragçylarynyň köp görnüşi bar. Germaniýany garyşdyryp, ýasap bolýarfotodetektorlarwe elektrik siňdirişimodulýatorlary, we hatda optiki güýçlendirijiler hem bolup biler. Silikon doping bilen, anoptiki modulýatorýasalyp bilner. Çepden saga aşakylar: kremniý sim tolkun goragçysy, kremniý nitrid tolkun goragçysy, kremniý oksinitrid tolkun goragçysy, galyň kremniý geriş tolkuny, inçe kremniý nitrit tolkun goragçysy we dopilen kremniý tolkun goragçysy. Theokarda, çepden saga tükenmek modulýatorlary, germaniý fotodetektorlary we germaniý baroptiki güýçlendirijiler.
2-nji surat: Adaty köpeliş ýitgilerini we refraktiw görkezijileri görkezýän kremniý esasly optiki tolkun gorag seriýasynyň kesişmesi.
Iş wagty: Iýul-15-2024